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參數化測試

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FS-Pro

半導體參數測試系統

參數測試 可靠性測試 快速脈沖測試

FS-Pro半導體參數測試系統是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備。

  • 在一個系統中實現了電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發生與測量、高速波形發生與釆集以及低頻噪聲測試能力，幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統中完成。

  • 全面而強大的參數測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發和評估進程，並可與概倫9812系列噪聲測試系統無縫集成。

  • 釆用工業通用的PXI模塊化硬件架構，系統配置靈活，擴展性強。

  • 內置專業測試軟件LabExpress提供豐富的測試預設和強大的數據處理功能。

  • LabExpress軟件同時支持自動化量測和並行量測，可進一步提升測試效率。

  • 廣泛應用于各種半導體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型先進材料與器件測試、器件可靠性等研究領域。

下載现有產品單頁

现有產品亮點

  • 一體化設備

    單機可采集高精度IV、CV、脈沖IV
    高速波形和瞬態IV采樣及1/f噪聲

  • 功能強大

    寬電壓電流輸出範圍、高精度
    支持高速采樣時域信號采集和任意線性波形生成

  • 廣受認可

    被衆多科研院所、芯片設計公司和代工廠、
    IDM公司釆用，目前已有國內外百余家客戶

  • 模塊化架構

    支持靈活、可擴展的
    測試配置

  • 簡單易用

    內置專業LabExpress測量控制分析軟件
    無需複雜編程可實現數據測量設置、執行和數據分析

  • 源表

    可用作981X系列內部SMU模塊
    無縫集成到981X系列噪聲測試系統

现有產品應用

  • 工藝制程研發與
    器件參數測試

  • 半導體器件
    可靠性測試

  • 半導體器件
    超短脈沖測試

  • 非易失性
    存儲器測試

  • 光電器件和
    微電子機械系統測試

  • 二維材料
    器件測試

  • 金屬材料
    測試

  • 新型先進材料
    與器件測試

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